Plasmaanlage

Die Plasmaanlage ATTO von Diener ist ein vielseitiges System, das durch Anlegen eines elektrischen Feldes über eine Stromversorgung Plasma aus einem neutralen Gas erzeugt. Inerte Gase wie Argon erzeugen angeregte Ionen, die physisch auf Oberflächen einwirken und Material durch mechanische Prozesse entfernen. Umgekehrt fördern aktive Gase wie Sauerstoff sowohl den Ionenbeschuss als auch chemische Reaktionen, wodurch organische Verbindungen und Rückstände für eine effiziente Entfernung verflüchtigt werden. Die Plasmabehandlung ermöglicht auch die Modifizierung der chemischen Zusammensetzung einer Oberfläche, je nach Material und Frequenz der Plasma-Stromversorgung.

Diese Technologie unterstützt Anwendungen wie Oberflächenreinigung, Aktivierung, Ätzen und Abscheidung, wodurch der Einsatz aggressiver Chemikalien überflüssig wird. Sie ist mit verschiedenen Materialien kompatibel, darunter Glas, Metalle, Kunststoffe, Silizium und piezoelektrische Substrate.

In unserer Einrichtung verwenden wir das Diener ATTO-Plasmasystem hauptsächlich zur chemischen Modifizierung von Oberflächen mit Luft- und Sauerstoffplasma, insbesondere zum Verbinden von PDMS mit Glas. Das System ist mit einem 13,56-MHz-Generator ausgestattet, der eine Leistung von bis zu 300 W liefert. Es verfügt über eine 10,5-Liter-Kammer und unterstützt Luft-, Sauerstoff- und Argongase für eine Vielzahl von Behandlungsprozessen.

Weitere Informationen über das Diener ATTO-Plasmasystem finden Sie hier.