Mikroskop
Das optische Mikroskop Axioscope 5 Vario von Zeiss ist mit allen erforderlichen optischen Komponenten und Software für die vorläufige Visualisierung und Analyse der in unserer Einrichtung hergestellten mikrostrukturierten Elemente und Mikrofluidik-Chips ausgestattet. Das Mikroskop arbeitet mit reflektiertem Licht sowohl im Hellfeld- als auch im Dunkelfeldmodus und bietet eine verbesserte Vielseitigkeit für verschiedene Probentypen. Es verfügt auch über zirkularen differentiellen Interferenzkontrast (c-DIC) im reflektierten Licht, wodurch der Bildkontrast und die Auflösung verbessert werden. Dies ist besonders wichtig für die Analyse von Oberflächenmerkmalen von Fotolacken in Master-Vorlagen oder Metallschichten in Mikroelektroden, da es eine schnelle Rückmeldung über die Qualität mikrostrukturierter Proben liefert.
Objektive:
- EC Epiplan 5x/0.13 BD M27 (FWD=11.8mm)
- EC Epiplan 10x/0.25 BD M27 (FWD=11.0mm)
- EC Epiplan 20x/0.4 BD M27 (FWD=3.2mm)
- EC Epiplan 50x/0.75 BD M27 (FWD=1.0mm)
- EC Epiplan 100x/0.85 BD M27 (FWD=0.87mm)
Kamera:
- Digital Microscopy Camera Axiocam 305 color R2 (D)
- Number of Pixels: 2464 (H) x 2056 (V) = 5.07 Mega pixels (color)
- Sensor Type: SONY IMX264 Exmor Pregius Global Shutter CMOS
- Pixel Size: 3.45 μm x 3.45 μm
- Chip Size: 8.5 mm x 7.1 mm, equivalent to 2/3" (diagonal 11.1 mm)
- Spectral Range: Approx. 400 nm to 720 nm (with IR barrier filter)
Beleuchtung:
- Reflected light illumination with a 10W LED
- IF Yellow Filter LP 515 (diameter 25x2mm) for photosensitive materials
Objekttisch- und Probenkapazität:
Das Mikroskop kann Proben mit einer Größe von bis zu 160 mm x 160 mm und einer Höhe von 100 mm aufnehmen. Der mechanische Objekttisch unterstützt 4"- und 6"-Siliziumwafer, enthält einen Glaseinsatz für optionale Bodenbeleuchtung und verfügt über einen Objekttischhalter, der 4"-Wafer drehen kann.
Software:
ZEN-Mikroskopiesoftware, einschließlich Analysewerkzeugen zur Anpassung von Bildgebungsparametern und zur Messung von Abständen, Winkeln und anderen wichtigen Merkmalen.