Mask Aligner
Ein Mask Aligner ist ein entscheidendes Instrument für die Herstellung mehrschichtiger Mikrostrukturen. Er setzt ein mit lichtempfindlichem Widerstand beschichtetes Substrat durch eine Fotomaske, die das gewünschte Muster enthält, UV-Strahlung aus. Der Aligner ermöglicht die präzise Ausrichtung der Merkmale auf dem Substrat mit denen auf der Fotomaske und ermöglicht so die Erstellung komplexer Geräte durch mehrere Ausrichtungsschritte. Diese Technologie bildet die Grundlage für die Herstellung von Mikrofluidik-Chips in unserer Einrichtung.
Unser UV-KUB3-Maskenaligner von Kloé bietet eine vollständige Palette von Werkzeugen zur Steuerung des Mikrofabrikationsprozesses, von der Waferbeladung bis zur Belichtung:
- Maskenhalter: Unterstützt quadratische 5"- und 7"-Chrom-Photomasken sowie flexible Film-Photomasken
- Probenhalter: Nimmt Substrate verschiedener Größen auf, einschließlich Siliziumwafer bis zu 6"
- Ausrichtungssystem: Bietet eine XYZ-Substratverschiebungsauflösung unter 0,5 µm und gewährleistet eine Ausrichtungsgenauigkeit von 1 µm
- UV-LED-Quelle: Emittiert UV-Licht mit einer Wellenlänge von 365 ± 5 nm im kontinuierlichen oder gepulsten Modus und erreicht so eine hochwertige Kollimation (Divergenzwinkel <2º). Sie bietet Auflösungen bis zu 1 µm ohne Vakuumkontaktmodus und eine Belichtungshomogenität von ±5 % über einen Bereich von 6 Zoll
- Antivibrationstisch: Gewährleistet einen stabilen Betrieb während des Ausrichtungs- und Belichtungsprozesses.
Weitere Informationen über den Maskenausrichter finden Sie hier.