Beschichtungsplattform
Die Beschichtungsplattform ist eine wesentliche Installation für die Herstellung von Master-Vorlagen, die in unserer Einrichtung bei der Produktion von Mikrofluidik-Chips verwendet werden. Sie befindet sich unter einer Chemikalienabzugshaube und besteht aus einem Spin Coater und zwei Heizplatten, die beide auf Präzision und Effizienz optimiert sind.
Der Spin Coater (Modell WS-650Mz-23NPPB von Laurell Technologies Corporation) automatisiert kritische Abscheidungsparameter wie Zeit (1-59 Sekunden), Geschwindigkeit (10-10.000 U/min), Beschleunigung (bis zu 13.000 U/min/s in Schritten von 1 U/min/s) und Drehrichtung. Er eignet sich für Substrate verschiedener Größen, einschließlich runder Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm, und gewährleistet so Vielseitigkeit für unterschiedliche Fertigungsanforderungen. Weitere Informationen über den Spin Coater.
Die Heizplatten (Modell EMS 1000-3 von Electronic Micro Systems) verfügen über P.I.D.-Temperaturregler mit Digitalanzeigen und harteloxierten Aluminiumoberflächen. Sie unterstützen Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm. Die Heizplatten bieten eine maximale Temperatur von 200°C mit einer Temperaturgleichmäßigkeit von 1% über die gesamte Arbeitsfläche. Zwei besondere Eigenschaften verbessern die Benutzerfreundlichkeit: Die Platten sind einerseits mit Vakuumlöchern für eine sichere Substratplatzierung sowie andererseits mit Hubstiften für ein einfaches Be- und Entladen mithilfe eines Vakuumstabs ausgestattet.