3D-Profilometer

Das Zeta™-20-System von Zeta/KLA Tencor ist ein vollständig integriertes optisches Profilmikroskop, das fortschrittliche 3D-Mess- und Bildgebungsfunktionen bietet. Mit der ZDot™-Messmethode, bei der die Fokushöhe variiert, erfasst das System hochauflösende 3D-Daten und farbechte Bilder mit unendlichem Fokus für eine detaillierte Analyse von Mikrostrukturprofilen.

Das Zeta-20 ist sowohl mit einer 2D-strukturierten LED-Beleuchtung als auch mit einer normalen LED-Beleuchtung ausgestattet. Die strukturierte Beleuchtung ermöglicht die Erkennung von Oberflächen mit schwachen Signalen (z.B. durchlässige Oberflächen) und ist daher besonders nützlich für die Analyse transparenter Materialien wie Polymere, die in unserer Einrichtung häufig für die Entwicklung von Mikrofluidik-Chips verwendet werden.

Die laterale Auflösung des Systems hängt vom Mikroskopobjektiv ab, wobei 5x-, 20x- und 50x-Objektive verfügbar sind. Es bietet eine Tiefenauflösung von 10 nm. Für eine verbesserte Tiefenauflösung verfügt das System über ein zusätzliches Weißlichtinterferometer (ZI: VSI), das einen Piezo-Objekttisch verwendet. Diese interferometrische Methode erreicht eine Tiefenauflösung von 1 nm und unterstützt die Verwendung von 10-fach und 50-fach interferometrischen Objektiven. Diese eignen sich ideal für die optische Charakterisierung empfindlicher Oberflächen, wie z.B. Stufenhöhen in Fotolackschichten bei der Herstellung von Master-Vorlagen.

Weitere Informationen über das Zeta-20-System finden Sie hier.

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